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No 项目 2英寸 4英寸
1 材质 单晶合成蓝宝石(AL2O3)
2 晶向 C-axis 【0001】 tiled M-axis 0.2±0.1°
3 定位边 晶向 A-Axis 【11-20】 ±0.3°
4 长度 16±1mm 30±1mm   32±1mm
5 直径 50.8±0.25mm 100±0.25mm
6 厚度 430±10um   430±25um 650±25um
7 ttv ≤5um   ≤10um ≤15um   ≤30um
8 bow 0~﹣5um   ﹣5um~﹣10um 0~﹣15um   ﹣15um~﹣30um
9 warp ≤10um ≤20um   ≤50um
10 ltv ≤1.7um
11 抛光面粗糙度 ≤0.3nm
12 背面粗糙度 0.8~1.2um
13 倒边 R-type / T-type
14 激光打标 Frontside / Backside{可根据客户要求制定}
15 表面质量 KLA-Tencor检测无缺陷
16 包装 Vacuum packed cassette of 25 pieces in a clean room